Sistim cai cooling prosés diwangun ku bagian handap: chillers, pompa, exchanger panas, tank cai, saringan, sarta alat-alat prosés.
Chiller cai: Nyadiakeun sumber tiis pikeun sistem cai cooling.
Pompa cai: pressurize cai pikeun mastikeun sirkulasi na dina sistem cooling.
Penukar panas: Anggo alat ieu pikeun tukeur panas antara sistem cai tiis sareng sistem cai tiis pikeun mindahkeun panas anu dihasilkeun dina tungtung beban sistem ka sistem cai tiis.Aya loba jenis exchanger panas, nu bisa dibagi kana tipe cangkang-na-tube, tipe plat, tipe plat-fin, tipe pipa panas, jsb nurutkeun formulir maranéhanana.Dina babandingan, exchanger panas plat boga kaunggulan tina tapak suku leutik sarta aréa mindahkeun panas badag.Mertimbangkeun karakteristik biaya spasi tur aréa"pabrik semikonduktor, alat-alat sareng tapak suku leutik langkung dipikaresep pikeun ngahemat lahan sareng biaya rékayasa.
Tangki cai: Tangki cai dina sistem kabuka utamina maénkeun peran pikeun nambihan sumber cai.Tangki cai dina sistem katutup kedah milih tank cai ékspansi.Tangki cai ékspansi ngagaduhan tilu fungsi.Salah sahijina nyaéta ngandung sareng ngimbangan ékspansi sareng kontraksi cai dina sistem;anu sanésna nyaéta nyayogikeun tekanan anu stabil kana sistem cai sirkulasi katutup sareng maénkeun peran dina stabilisasi sistem;Katilu nyaéta salaku indikasi pompa cai sistem, biasana tank ékspansi ngirimkeun sinyal pikeun ngamimitian atanapi mareuman pompa cai sistem.
saringan: nyaring kaluar partikel padetAya dua sistem anu kawilang mandiri dina prosés sistem cai cooling, cai tiis sareng cai cooling.Cai tiis disayogikeun ku chiller, sareng cai anu tiis sareng cai cooling tukeur panas pikeun niiskeun cai cooling sareng ngirangan suhu alat.Cai ngompa tina alat-alat produksi ngaliwatan pompa cai ka exchanger panas pikeun mastikeun suhu prosés cooling cai ku ngadalikeun jumlah cai chilled, lajeng dikirim ka alat-alat garis produksi sanggeus ngalirkeun filter nu, lajeng deui ka pompa cai.Prosés formasi cooling cai sababaraha kali sirkulasi.Cai tiis langsung dipulangkeun deui ka chiller.